為什麼半導體車間都會安裝廢氣處理裝置▩╃·↟•，因為半導體制造過程中使用的氣體大多具有可燃性╃│·•、自燃性╃│·•、腐蝕性等特性▩╃·↟•，尤其是在晶圓廠製造車間中的廢氣流通常含有腐蝕性和VOCS有機廢氣等▩╃·↟•，在排放到大氣之前透過VOCs廢氣處理裝置去除這些氣體↟│。這需要在大多數半導體廠製造車間中使用專門用於管理和處理工藝廢氣流的裝置↟│。因此我們睿馳提出安全可靠的廢氣處理裝置以及RTO蓄熱式焚燒裝置▩╃·↟•，能夠對這些氣體進行有效處理↟│。

半導體車間廢氣處理裝置選擇標準•◕◕·：

(1)半導體生產車間廢氣處理裝置的選擇是根據待消除氣體的種類╃│·•、濃度╃│·•、流量和壓力▩╃·↟•，減排裝置的處理能力▩╃·↟•，綜合考慮農藥的壽命╃│·•、前後與裝置的關係等多種情況▩╃·↟•，挑選合適的處理方法和裝置↟│。

(2)半導體生產車間廢氣處理裝置在混合時將會爆炸╃│·•、起火或造成有害物的氣體處理應該是一個獨立的系統↟│。

(3)可能有自燃性氣體或可燃氣體流動的排風管道採用不燃材料↟│。

(4)不可以讓半導體生產車間廢氣處理裝置規格中規定的廢氣以外的廢氣流動▩╃·↟•，或准許大量廢氣流動超出廢氣處理裝置的處理水平↟│。